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一种声表面波谐振装置及其形成方法、滤波器、双工器，其中谐振装置包括：衬底；位于衬底上的接合层；位于接合层上的压电层，衬底的热膨胀系数和接合层的热膨胀系数均小于压电层的热膨胀系数；位于压电层上的电极结构；位于压电层上的温度补偿层，温度补偿层覆盖电极结构。通过增加衬底和接合层，当压电层受热膨胀会导致谐振频率降低时，而由于衬底的热膨胀系数和接合层的热膨胀系数均小于压电层的热膨胀系数，利用衬底和接合层能够使得压电层膨胀受到约束，进而可以改善频率温度系数，无需通过继续增加温度补偿层的厚度来改善频率温度系数
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117353700A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311234790.5H03H9/145(2006.01)
(22)申请日2023.09.
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