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本公开提供了一种静电驱动器及其实现方法、静电驱动器中的梳齿构件及其制造方法、包括静电驱动器的微机电系统、激光雷达系统以及车辆。静电驱动器，包括多个梳齿构件，其中，多个梳齿构件中的每个梳齿构件包括梳齿连接梁和梳状部分，梳状部分包括形成在梳齿连接梁表面上并沿平行于梳齿连接梁表面的第一方向排列的多个梳齿，以及，其中多个梳齿构件中的至少一个梳齿构件还包括介电层部分，介电层部分形成在各个梳齿的齿间侧表面的至少一部分上，梳齿的齿间侧表面包括面向相邻梳齿的一个侧表面和与其相对的另一侧表面。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117348029A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202210734375.5B81B7/02(2006.01)
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