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光束能量调节设备的控制方法、装置及晶圆处理设备.pdfVIP

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  • 2024-01-06 发布于四川
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光束能量调节设备的控制方法、装置及晶圆处理设备.pdf

    本公开提供了一种光束能量调节设备的控制方法、装置、介质及晶圆处理设备。所述光束能量调节设备包括光束能量可变衰减机构，所述控制方法包括：获取所述光束能量可变衰减机构的状态信息；根据所述状态信息确定所述光束能量可变衰减机构属于预设状态时，调整所述光束能量可变衰减机构的光束能量可变衰减相关参数，以调整经过所述光束能量可变衰减机构的光束的能量。本公开中的光束能量调节设备的控制方法能够提高光束能量可变衰减机构的使用率，节省设备成本，并且减少更换次数还可提高生产效率，减少因设备维护造成的时间成本增加的问题。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117348348A

    (43)申请公布日2024.01.05

    (21)申请号202210749694.3

    (22)申请日2022.06.29

    (71)申请人长鑫存储技术有限公司

    地址23

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