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本申请实施例提供一种基于声表面波的柔性微球或细胞弹性模量测量芯片,属于微流控技术领域,包括:压电基底;第一叉指电极和第二叉指电极;微通道基体,设置在压电基底上;微通道基体内设置有电极空腔和挤压通道以及分别与挤压通道连通的介质入口通道和介质出口通道,且挤压通道位于第一叉指电极和第二叉指电极之间;挤压通道,设置在压电基底上,且挤压通道位于微通道基体内,挤压通道包括多个微柱,相邻的两个微柱之间形成供柔性微球或细胞进入的缝隙,且缝隙的宽度由第一端到第二端逐渐减小。通过本申请实施例提供的一种基于声表面波的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117347168A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311316415.5
(22)申请日2023.10.11
(71)申请人清华大学
地址100084
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