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本实用新型公开了一种超窄切割道low‑k介质晶圆激光开槽装置，包括紫外激光器、二向分光镜、二分之一波片、第一偏振片、第一45°反射镜、第一光闸、光阑、光斑整形系统、第二45°反射镜、第二光闸、棱镜、第二偏振片、第三45°反射镜、第三光闸、第四45°反射镜、第五45°反射镜、第一聚焦镜、第二聚焦镜、物镜，紫外激光器发射出的激光光束依次经过二向分光镜、二分之一波片和第一偏振片后分成光束a、光束b和光束c。有益效果在于：本实用新型能够在被加工材料上形成不同形状的聚集光斑，两个圆形聚焦光斑距离可在0‑3
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220296142U
(45)授权公告日2024.01.05
(21)申请号202321665876.9
(22)申请日2023.06.28
(73)专利权人郑州轨道交通信息技术研究院
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