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一种离心式涂胶机构.pdfVIP

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  • 2024-01-06 发布于四川
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一种离心式涂胶机构.pdf

    本实用新型涉及半导体制作工艺设备技术领域，具体是涉及一种离心式涂胶机构，包括用于对晶圆半导体进行固定的吸附机构、用于对涂胶进行喷洒和喷涂位置进行调节的调整机构，还包括用于对晶圆半导体和喷头进行同一轴心调节的定位机构；有益效果：通过设置有升降柱等，在对晶圆进行涂胶时，升降柱下降，带动安装板和上楔块进行同步下降，之后下楔块与底座接触，滑动套筒与安装板滑动连接，升降柱带动上楔块继续下降，然后上楔块与下楔块接触，四个上楔块向内压缩对应设置的下楔块，向中间收缩，实现对晶圆半导体的位置调整，保证晶圆半导体的

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220295102U

    (45)授权公告日2024.01.05

    (21)申请号202321751591.7

    (22)申请日2023.07.05

    (73)专利权人郑州轨道交通信息技术研究院

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