一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法.pdfVIP

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2024-01-06 发布于四川
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一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种可兼容多规格金属膜厚的钼铝蚀刻液及其制备方法，蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括无机酸磷酸65～69％、硝酸2～4％、醋酸8～10％、硝酸钾4～5％、醋酸钠0.5～3％、添加剂0.5～3％、表面活性剂0.05％‑0.2％，其中表面活性剂为十二烷基苯磺酸钠、硬脂酸、甘胆酸钠、二辛基琥珀酸磺酸钠中的一种或多种组合；各组分重量百分数之和为100％；解决目前市场上的钼铝蚀刻液都是针对单一规格的膜层，兼容性不好，且蚀刻速度慢、蚀刻后角度不稳定、CDloss大、有毛边的问题。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117344308A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311254093.6

(22)申请日2023.09.27

(71)申请人苏州博洋化学股份有限公司

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