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一种镀层材料的氢含量检测装置和方法.pdfVIP

一种镀层材料的氢含量检测装置和方法.pdf

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    本申请公开了一种测量镀层材料氢含量的检测装置和方法，一种应用于航空航天设备中高精密高稳定要求的零件的镀层材料氢含量无损动态检测装置及方法。所述装置，包括真空工作腔、样品台、真空获得系统、真空测量系统、质谱仪以及主控设备。真空获得系统采用机械泵、分子泵、离子泵等多级真空泵获得高真空环境并可进行不同真空度量级的选择，质谱仪、真空泵通过真空管路与真空工作腔连接，所分析气体进入质谱仪进行分析检测。样品台的设计充分考虑样品台的快速均温加热以及快速冷却功能。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117347149A

    (43)申请公布日2024.01.05

    (21)申请号202311275089.8

    (22)申请日2023.09.28

    (71)申请人北京卫星制造厂有限公司

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