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本公开提供了一种静电驱动器及其实现方法、静电驱动器中的梳齿构件对及其制造方法、包括静电驱动器的微机电系统、激光雷达系统以及车辆。制造静电驱动器的梳齿构件对的方法包括：获取中间器件，其包括衬底；形成在衬底上的缓冲层；以及在缓冲层上相对设置的一对中间梳齿构件，其中，每个中间梳齿构件包括梳齿连接梁和包括多个梳齿的梳状部分；进行预清洁，以去除各个梳齿的外表面上的自然钝化层；进行氧化处理，以在各个梳齿的外表面上形成中间介电层；以及去除部分中间介电层，以得到形成在各个梳齿的齿间侧表面的至少一部分上的介电层部
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117348030A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202210735894.3B81B7/02(2006.01)
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