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一种多层波导边缘耦合器.pdfVIP

一种多层波导边缘耦合器.pdf

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    本发明提供一种多层波导边缘耦合器，包括波导包层、衬底层和模式转换器，波导包层和衬底层上下设置，模式转换器设置在波导包层中；波导包层上开设有两排通孔，两排通孔位于模式转换器两侧；衬底层内设有空腔，空腔位于通孔下方且与通孔连通；所述模式转换器包括N个依次耦合的波导，第一个波导用于与单模光纤耦合，第N个波导用于与芯片内单模波导耦合，第N个波导至第一个波导的厚度依次递减；所述N为大于1的整数。本发明提供的一种多层波导边缘耦合器，实现与光纤低损耗耦合，同时降低制作精度要求。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117348153A

    (43)申请公布日2024.01.05

    (21)申请号202311654527.1

    (22)申请日2023.12.05

    (71)申请人希烽光电科技（南

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