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本发明提供一种激光能量调节装置及激光微加工设备，利用分光器将激光脉冲分成用于照射工件和进行激光能量图像识别的两个激光子脉冲，当进行激光能量图像识别的激光子脉冲在采样板上形成激光光斑后，对激光光斑进行图像拍摄和预处理，再将激光光斑图像与基准激光光斑图像进行对比，以此向激光能量调节模块发出激光能量调节控制信号，实现对激光脉冲能量的调节，其对激光光斑进行视觉识别后，以基准激光光斑图像为参考基准，确定实际识别得到的激光光斑图像与基准激光光斑图像之间的激光光斑能量差异，只需要利用图像识别与比较方式即可快速
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117340427A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311662125.6
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人深圳市智鼎自动化
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