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本发明提供一种可激发多种超声波的高耐温AlN压电涂层材料的制备方法,包括:采用Al靶材通过磁控溅射在基体表面形成AlN压电功能层;通过控制磁控溅射中,氩气和氮气体积比、温度、溅射功率、沉积气压以及靶基距,使AlN压电功能层在沉积过程中呈多种取向生长。本发明制得的AlN压电涂层材料具有良好的力学性能、耐温性能和抗腐蚀性能,在不需要保护层的情况下,确保AlN压电涂层在高温和恶劣工况下具有长期稳定的服役能力,减少腐蚀等因素导致的失效可能性,可实现螺栓预紧力的精确无损测量,或实现钢基体缺陷检测和应力测量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117344275A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311218337.5G01L1/25(2006.01)
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