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亚稳态原子对电容耦合氩等离子体特性影响流体模拟脉冲师姐.pdfVIP

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  • 2024-01-12 发布于北京
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亚稳态原子对电容耦合氩等离子体特性影响流体模拟脉冲师姐.pdf

    PHYSICSOFSMAS17,0335072010

    Fluidsimulationforinfluenceofmetastableatomsonthecharacteristics

    ofcapacitivelycoupledargonsmas

    Yu-RuZhang,XiangXu,andYou-NianWanga

    SchoolofPhysicsandOptoelectronicTechnology,DalianUniversityofTechnology,Dalian116024,

    Received15January2010;accepted1March2010;publishedonline29March2010

    One-dimensionalself-consistentfluidmodelisusedtosimulate

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