微泵的工作原理.docxVIP

微 泵 的 工 作 原 理

压方附

压方附瓷

阳2-1 压电片结构及驱动原理示盘阳

F唔．2－1.严melectnCl1论mb皿restr芷血 皿 its中1如.

lle口ly

22扩散口／喷嘴原理

流体在符迫中流动时P当符迫的形状发生变化．比如转穹，变行，分岔．等，流体流经这些部件时P均匀流动受到破坏P流速的大小．方向或分.,(1]发生变化．这样的生的流动阻力称为局部阻力凸扩散笞结构参数如闸2-2所示凸附

-rl1v1表示入口流速，生为入D截面积俨Pl为入口处的压强俨 Ii2为出口流速．A2为出□处的截面积．p2为出口处的冗强．8为扩散角度。根职D汜i:::y-Weisbai:::h公

式，局部阻）」产生的水头损失为［气

凡＝（，D....!.. (2-1)

2g

式中O为扩散口流动阻力系数．g为亚）」丿

加速度常数。

设流体密度为p. 根拱Benrnulli方程有应］：

—P1+－.L\-＝—Pl＋I一i＋”Ii}一3

(2-2)

pg 2g pg 2g-- 2g

_

_＿＿＿_1

贮

飞

A

Rl2-2 扩散Ll结构阳

F塔．2-2 邮四顷皿tme

通过小和上面的流血相等．所以有：：： v1=v2(A汕纷。节腔体中产生一个很大的压强时．出口处压强p2与腔休压强Pl相比可以忽略．由(2-1)式可得：

l+(o+－了A24

l+(o+－了

A2

4

吾

＝

，士

v

所以出口流址为：

QD =V.24 =4 ＼厅 (2-4)

矿

＋釭＋—了

4

－-pl,I-.-－－－-- ,

－-

pl

0I 妇 .,

0

I

妇 ., \_ ＿一产

-Pl:

1l-

_＿_＿一－

陌2-3 喷邯钻构阳

F塔．2-3 皿zzles.匹 tlu-e

巨同理对于喷咄P 用分表示n负嘴流动阻）」系数，有，：

巨

Q,.｀＝A

+(.,`

+(

.,`

矿

+

－4-...

无 悯敝 泵通过驱动膜片发生形变引起腔体体积的变化来驱动流体流动．无悯敝泵的扩散口是横截面面积在流体流动方向上逐渐扩大的流通通迨t|l贲咄是

横截而而积在流体流动方向上逐渐缩小的流通通迨。无悯敝泵T一作原理基千扩散□I喷嘴具有整流特性凸如果扩散口／ll负咄结构设计合理．在同样的压强差驱动下，扩散方向的流显将大于喷啡方向的流卧巳节加正向电压时．膜片向下已J

曲．腔体体积减小．敝泵的出口充节扩散口．进口充节哄咄．结果出口（扩散

□)流出挝大于入口（l负嘴）的流出瘟·t加反向电压时，膜片向上穹I问秤性使泵腔内压强变行很小，此时入口充节扩散口，而出口充节哄嘴，其结果是入口

贮·I- I），liAir-干-＿A．I

贮

·I- I）

，

l

i

Ai

r-

干

-

＿

A．

I1,II

图 2-4 双扩散1-1结构阳

Fig.2-4 d0曲le山tT晔过IuCture

对于双口泵的悄况．两对扩散／哄嗤是同样的尺寸．其阻力系数心相同。假定在振动膜片彶生同样的体积变化时，腔体产生的兀强也相同D以扩散口的怕况为例（如图2－心．将两个扩散口视为符口出流．流体通过两个扩散D时．受到双估的水头损失．根躯伯努力方程：

I P2P1

I P2

— ＋一 ＝一 ＋一

+2(，D一

(2-6)

贮pg 2g pg 2g - 2g

贮

由此可衔两个扩散口和啼咐的流扯分别为：：：

巨三：

巨

(2-7)

+2众＋－矿了J

+2众＋－矿了

J..

一

(2-8)

，.

，

假设单口敝泵和双口敝泵的流动阻力系数相等凸 山千受扩散□I喷嘴流体性能和微泵制造下艺的限制，在6540°范出内扩散符的流体阻力系数通常取心

=0.2~1。喷嘴能邱损失主要在从收缩段流向外接宵符段时的局部压力损失，

通肃怕况下对千喷咐的流体阻力系数可近似认为CN叫 阳］已从 {2-4)（2-5)（2-

?）（2-8)式中可以帝出，由于A1A]，扩散D方向的损失系数小于喷嗤方向损失系数即众ro．同—截而上扩散符流体平蚐速度大千II负啃流体平均速度，即通过扩散口的流显大于通过II如府的