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本发明涉及一种高纯氟化铵水溶液制备方法，属于湿电子化学品技术领域。其具体为，将工业氟化铵溶于有机溶剂中重结晶、干燥，再溶于高纯水中，依次经过阳离子交换树脂、阴离子交换树脂，除去金属盐杂质，然后用三级微孔膜过滤，制得高纯氟化铵水溶液，所述阳离子、阴离子交换树脂预先分别用1‑5wt％氢氟酸、1‑5wt％氟化钠水溶液浸泡12‑24h进行氟化和钝化。本发明以廉价的工业氟化铵为原料，用有机溶剂重结晶除去绝大部分杂质，再用离子交换树脂深度除杂，使得单项杂质金属离子浓度降到1ppb以下，单项杂质阴离子浓度降到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117361566A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311412488.4
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人河南省氟基新材料科技有限公司
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