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本发明公开了一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，包括设备底座，所述设备底座的顶部固定安装有两组Y轴方向设置的第一Y轴直线电机，所述第一Y轴直线电机的顶部固定安装有X轴方向设置的第一X轴直线电机，所述检测组件固定安装于第一X轴直线电机上。本发明设置的检测组件上设置有可以显微镜和温度系统能够分别移动去适应多种变化的被测物品；而设置的移动机构可以安装多组不同的探针台，而需要安装的探针尺寸可以根据使用需求去更换探针台，多个探针台尽可能的满足被测需求；并且设置的样品台可以提供多尺寸的真空吸附，被
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117368546A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311653490.0
(22)申请日2023.12.05
(71)申请人江苏才道精密仪器有限公司
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