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2024-01-10 发布于四川
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一种晶圆检测定位机构及晶圆检测装置.pdf

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本发明提供了一种晶圆检测定位机构，包括位移组件、晶圆承载组件、晶圆校准组件、支架组件，通过位移组件使晶圆在检测工位与校准工位时处于不同的高度，使晶圆在校准工位时远离校准组件以获得更大视野，同时避免校准组件获取到的图像的畸变，从而减小校准误差；通过位移组件使晶圆能够在检测工位、校正工位之间移动的同时能够分别达到第一高度、第二高度，无需单独调整晶圆所在位置的高度，减少了晶圆移动结构并减少位移误差。本发明还提供了一种晶圆检测装置，所提供的晶圆检测装置能够实现对晶圆进行磁性检测。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117368538A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311237949.9

(22)申请日2023.09.25

(71)申请人北京航空航天大学

地址1001

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