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本发明提供了一种微机电麦克风的制备方法，包括如下步骤：选择基底，在基底的第一表面上制备第一挡板结构；在第一挡板结构背离基底的一侧制备振膜结构，振膜结构的周缘向第一挡板的正投影落在第一挡板上；在振膜结构背离第一挡板的一侧间隔制备第二挡板结构，第二挡板结构与第一挡板结构连接，且第二挡板结构向振膜结构的正投影至少部分落在振膜结构的周缘；在第二挡板结构背离振膜结构的一侧间隔制备背板结构，背板结构包括若干声学通孔；刻蚀基底与第一表面相对的第二表面，形成背腔结构。与相关技术相比，本发明的微机电麦克风的制备方
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117376796A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311676803.4
(22)申请日2023.12.08
(71)申请人瑞声光电科技（常州）有限公司
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