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使用波导的倏逝波的粒子密度传感器.pdfVIP

使用波导的倏逝波的粒子密度传感器.pdf

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    粒子传感器装置包括：衬底(1)、光电检测器(3)、在衬底(1)上或衬底上方的电介质(4)、电磁辐射源(5)和在衬底(1)中的衬底通孔(6)。衬底通孔暴露于环境，特别是环境空气。在电介质中或电介质上方设置有波导(7)，使得由电磁辐射源发射的电磁辐射耦合到波导的一部分(7.1)。波导的另外的部分(7.2)与光电检测器相对，使得波导的所述部分位于衬底通孔的不同侧，并且波导横穿衬底通孔。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111989560A

    (43)申请公布日2020.11.24

    (21)申请号201880072119.6费尔南多·卡斯塔诺

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