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一种尺寸压缩的混合驱动微镜.pdfVIP

一种尺寸压缩的混合驱动微镜.pdf

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    本发明涉及光学扫描技术领域，具体涉及一种尺寸压缩的混合驱动微镜；包括锚固结构、第一扭转轴、第一驱动框架、第一支承结构、硅结构层、镜面、金属线圈结构、压电材料层和键合材料层，多组第一驱动框架对称分布于镜面的两侧，每组第一驱动框架的表面均集成有金属线圈结构，镜面与硅结构层连接，硅结构层上设置有压电材料层，镜面的底部设置有键合材料层，第一扭转轴分别与锚固结构和第一驱动框架连接，通过分别采用电磁驱动与压电驱动两种驱动方式驱动，将系统工作所需的总驱动力拆分到两个子驱动系统，各子驱动系统提供的驱动力小于该系

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117369116A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311517831.1

    (22)申请日2023.11.15

    (71)申请人觉芯电子（无锡）有限公司

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