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本发明公开了一种高精清洗的装置及工艺，装置包括：上料装置、喷淋装置、风力清洗装置、真空干燥槽、碳氢清洗剂供给和循环系统、低真空装置、高真空装置、冷凝装置和激光清洗装置；碳氢清洗剂供给和循环系统包括碳氢清洗剂循环装置、加热装置和蒸馏装置，以实现碳氢清洗剂在真空干燥槽的循环。该装置能实现清洗，且碳氢清洗剂能实现回收循环。该工艺依次包括上料、喷淋清洗、风力清洗，在真空干燥槽中再次加入碳氢清洗剂进行表面冲洗，然后加压对工件进行气相清洗，最后进行激光清洗。在真空干燥过程的同时也进行了零件的气相清洗。本发明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117358647A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311216795.5B08B3/08(2006.01)
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