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本发明涉及半导体制造技术领域，具体为一种金属有机化合物供料控制系统，包括金属有机化合物存储罐，其特征在于该金属有机化合物存储罐顶部同时与载气管道与输出管道连通，载气管道上依次向外设置进气手动阀、单向止回阀、一号三通气动阀和二号三通气动阀、电动压力调节器、载气纯化系统和载气颗粒过滤系统；二号三通管道同时还与真空管道连接；输出管道上依次向外设置出气手动阀、三号三通气动阀、气动阀以及反应腔室；三号三通气动阀与一号三通气动阀相互连通。该系统解决了载气携带颗粒杂质、水汽和氧气等导致的管道堵塞以及工艺产品质
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109457233A
(43)申请公布日
2019.03.12
(21)申请号20181
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