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一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置及其使用方法.pdfVIP

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  • 2024-01-13 发布于四川
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一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置及其使用方法.pdf

    本申请涉及碳化硅气相沉积设备的技术领域，具体公开了一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置及其使用方法。该进气装置包括依次设置的MTS储液罐、液体流量控制装置、预热装置、低压气化室、低压匀气罐，所述低压气化室通过真空泵与低压匀气罐连接，所述低压匀气罐通过真空泵与反应腔室连接；MTS自MTS储液罐依次经预热装置、低压气化室、低压匀气罐进入反应腔室。本申请实现反应物气体量实时的灵活可控，配合载气通入量，达到比例任意可调且稳定的目的，可长时间稳定作业，并突破了作业时长受MTS最大存储量的限制。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117385340A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311626556.7

    (22)申请日2023.11.30

    (71)申请人北京亦盛精密半导体有限公司

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