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本发明提供一种晶圆载盘环的清洗方法，该晶圆载盘环的清洗方法包括：在对晶圆载盘环进行氯气清洗后，将晶圆载盘环放入氢氧化钠和超纯水以预设比例混合的混合药液中进行超声清洗；完成在混合药液中超声清洗后，利用超纯水对晶圆载盘环进行残留药液和分解物的清洗；将晶圆载盘环放入烤箱进行烘烤干燥。应用本发明的晶圆载盘环的清洗方法可以有效解决氯气对晶圆载盘环上附着的铝化合物、镓化合物以及铝镓化合物的清洗效果变差问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117380651A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311521157.4
(22)申请日2023.11.14
(71)申请人星钥（珠海）半导
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