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基板处理方法以及升华干燥用处理剂.pdfVIP

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  • 2024-01-13 发布于四川
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基板处理方法以及升华干燥用处理剂.pdf

    本发明的基板处理方法具有：液膜形成工序，将处理液供给至形成有图案的基板的表面，在所述基板的表面形成所述处理液的液膜，所述处理液是使升华干燥用处理剂液化而成的，所述升华干燥用处理剂是使彼此不同的第一升华性物质以及第二升华性物质以共晶组成或接近共晶组成混合而成的；固化膜形成工序，使所述处理液的液膜固化而形成所述升华干燥用处理剂的固化膜；以及升华工序，使所述固化膜升华而从所述基板的表面去除。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117397011A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202280038083.6(74)专利代理机构隆天知识产权代理有限公司

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