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本发明涉及微电子器件领域，特别涉及一种声表面波谐振器及其制备方法、滤波器。该声表面波谐振器包括由下至上依次设置的支撑衬底、功能层和叉指换能器；所述功能层包括沿第一方向依次排布的第一介质区、压电区和第二介质区；通过将压电层和底电极设置于叉指换能器的孔径区，可以小于或者等于孔径区的宽度，孔径区为叉指换能器中两种相对设置的叉指电极存在交错的区域，声表面波谐振器的目标模式是由纵向电场激发的高阶声表面波模式；相邻第一叉指电极之间的距离与目标模式的频率的乘积小于支撑衬底的声速，从而能够避免纵向电场激发产生的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117394819A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311461878.0
(22)申请日2023.11.03
(71)申请人上海馨欧集成微电有限公司
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