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本发明公开了一种铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备。该铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备在主反应区内每个加热器上分别设置有温度传感器，可反馈加热器的温度，这样就可通过温度传感器和加热器来调控主反应区内的温度，同时主反应区末端设置有荧光光谱仪可反馈硫化镉薄膜的厚度，从而调节产生的硫化镉薄膜的厚度，同时腔门能够打开便于调整，主反应区前端的风机可以防止溶液逆流出主反应区，设备整体分上下部分环绕设计可以减小设备占地面积，且通过该设备镀膜、冲洗、风干一体化，使铜铟镓硒薄膜太阳能电池卷进去到出来就可以直接给
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN108666392A
(43)申请公布日
2018.10.16
(21)申请号20181
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