基于静电可调拓扑声子超材料的高可靠性角速度传感器.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.05万字
约 11页
2024-01-13 发布于四川
举报
版权申诉

基于静电可调拓扑声子超材料的高可靠性角速度传感器.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了基于静电可调拓扑声子超材料的高可靠性角速度传感器，属于微机电系统技术领域，包括硅基底以及形成在基底上的谐振元件和电极组件；谐振元件包括平面周期性排布的多个振动单元，每个振动单元均通过悬梁结构与硅基底连接，振动单元间通过平板电极结构形成变间隙平板电容，相邻振动单元上施加不同的直流电压使相邻振动单元间产生静电耦合；电极组件包括激励电极、相位检测电极以及围绕所述谐振元件的固定电极，电极组件均通过锚点固定在硅基底上。本发明利用拓扑声子超材料作为角速度传感器的谐振元件并采用边界态频率范围作为输

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117388516A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311325129.5

(22)申请日2023.10.12

(71)申请人大连理工大学

地址116024

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

基于静电可调拓扑声子超材料的高可靠性角速度传感器.pdfVIP