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2024-01-13 发布于四川
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本申请提供了一种采集晶圆表面金属的方法。该方法包括：将待检测晶圆放入处理腔室中，去除待检测晶圆的预定部分，预定部分包括预定表面，预定表面为接受离子注入的表面；采用气相分解液滴对待检测晶圆的表面进行吹扫，并收集得到气相分解测试液。由于被离子注入的晶圆表面收到离子注入能量的影响，注入表面的晶格受到破坏，易产生亲水性，导致气相分解测试中无法收集气相分解测试液，该直接在处理腔室中将待检测晶圆的受损表面去除，露出内部疏水性较好的表面，使得能够顺利收集气相分解测试液且操作方便，进而解决了现有技术中受离子注入

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117393452A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311689960.9

(22)申请日2023.12.11

(71)申请人合肥晶合集成电路股份有限公司

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