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本发明涉及一种二氯二氢硅的纯化方法，将粗品二氯二氢硅原料通入脱重塔，塔底脱去重组分，塔顶得到二氯二氢硅和溶解在二氯二氢硅中的三氯化硼、三氯化磷、三氯化铁的混合气；将S1塔顶得到的混合气经冷凝器冷凝成液体，通入泵加压后得到高压液相产物通入膜分离器，膜反应器中的膜采用不与二氯二氢硅反应的有机高分子反渗透膜，去除三氯化硼、三氯化磷和三氯化铁，得到质量分率大于99.9999％的二氯二氢硅产品。本发明采用单个精馏塔节省了大量能耗，且利用有机高分子反渗透膜高效地将精馏过程中溶解在二氯二氢硅中的无机杂质去除，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117383568A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311192240.1B01D3/14(2006.01)
(22)申请日2023.09.1
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