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一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备.pdfVIP

一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备.pdf

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    本发明属于相干衍射成像相关技术领域，其公开了一种叠层衍射位置校正成像方法、系统及电子设备，其中所述方法包括：对于运动平台的每一个扫描位置坐标，通过粒子群算法以计算的衍射光场强度信息与采集的衍射光场强度信息之间差值最小为最优值，迭代更新得到运动平台更新后的整像素位置坐标；计算运动平台更新后的每一个整像素位置坐标的衍射出口波更新前后的互相关峰位置，不断搜索更新照射探针位置得到运动平台更新后的亚像素位置坐标；计算照射探针和待测样品的复振幅函数，由此重构待测样品和照射探针的幅值相位。本发明通过对粒子群位

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117388219A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311397804.5

    (22)申请日2023.10.24

    (71)申请人华中科技大学

    地址430074

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