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本实用新型提供一种单晶直径在线测量装置，包括移载机构和测量机构，所述移载机构用于带动单晶硅棒移动，所述测量机构设置在所述移载机构两侧，用于测量所述单晶硅棒的直径，所述测量机构可上下移动。本实用新型的有益效果是实现了单晶硅棒直径的自动化在线测量，提高了生产效率和测量精度，结构简单，操作便捷。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220339318U
(45)授权公告日2024.01.12
(21)申请号202321996086.9
(22)申请日2023.07.26
(73)专利权人内蒙古中环晶体材料有限公司
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