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本发明公开了一种背面出光石英衬底的薄膜铌酸锂光栅耦合器。该光栅耦合器自下而上包括石英衬底层、埋氧层、聚焦光栅层、包层和金属反射镜层，聚焦光栅层布设有衍射光栅区域，衍射光栅区域包括多个布置于同一半圆内的沿径向依次紧密连接的衍射单元，每个衍射单元呈半圆弧形，包括同心紧密连接的光栅齿和刻蚀槽。本发明优化了光栅结构、工艺简单、与基于石英衬底的高速薄膜铌酸锂调制器相兼容，可实现高耦合效率、低驱动电压、大电光调制带宽的高性能电光调制器，广泛应用于大规模铌酸锂光子芯片中，如光通信、光传感等领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117388986A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311480031.7G02B6/12(2006.01)
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