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一种散射条放置方法、装置及计算机设备.pdfVIP

一种散射条放置方法、装置及计算机设备.pdf

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    本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种散射条放置方法、装置及计算机设备。一种散射条放置方法，用于在掩模版图上快速放置散射条，包括以下步骤：获取版图中主图形轮廓的位置信息，并判断主图形是否存在坏点；若是，则于主图形的轮廓内部或于主图形的轮廓外的预设区域内设置若干初始评价点；获取初始评价点的位置，将初始评价点转换为像素点，并于像素点上提取光强的峰值；基于预设光强值筛选出符合条件的像素点以获得该像素点对应的目标评价点的位置；于目标评价点的位置放置预设尺寸的散射条。解决现有技术中掩模制造工艺中散射条放置时

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117389109A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311331226.5

    (22)申请日2023.10.13

    (71)申请人东方晶源微电子科技（北京）股份有

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