散热装置及光刻机.pdfVIP

  1. 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
  2. 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  3. 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种散热装置,其包括:支撑座、水冷机构、风冷机构和换热盘,所述支撑座设置有支撑面;所述水冷机构包括蓄水仓和第一循环管组,所述第一循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温,所述水冷机构包括鼓风机和第二循环管组,所述第二循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温;所述换热盘能够带动所述第一循环管组和所述第二循环管组所传递而来的冷媒流体相对于所述支撑面进行涡旋流动。涡旋流动的冷媒流体不仅使得冷媒流体和换热盘之间的接触面积大幅增加,并且也可以有效地提升换热盘处热量的流动

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117406557A

(43)申请公布日2024.01.16

(21)申请号202311416384.0

(22)申请日2023.10.27

(71)申请人中山新诺科技股份有限公司

地址

文档评论(0)

知识产权出版社 + 关注
官方认证
文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

版权声明书
用户编号:5333241143000144
认证主体北京中献电子技术开发有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
91110108102011667U

1亿VIP精品文档

相关文档