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本发明涉及半球谐振陀螺仪技术领域，具体是指一种半球谐振陀螺的谐振子表面金属化镀膜方法，包括以下步骤：步骤1，对谐振子的待镀膜表面进行预处理，并将预处理后谐振子通过偏转模块安装在公自转模块上；步骤2，将谐振子的待镀膜表面加热升温至设定温度；步骤3，打开坩埚挡板，调节束流旋钮至坩埚内观察到光斑，并调节光斑至坩埚中央，待束流速度达到预定速率后进行预溅，再待预溅速度稳定后打开衬底挡板进行生长镀膜；本发明增加了谐振子在蒸发腔室内的自由度，改变了谐振子表面各点与蒸发源之间的夹角，使得谐振子的转轴多向化，进而
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117403190A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311430832.2
(22)申请日2023.10.31
(71)申请人四川图林科技有限责任公司
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