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2024-01-17 发布于四川
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本实用新型涉及气体制备技术领域，尤其是一种混合气配制装置，所述罩体与上腔室内壁由内向外依次设置有第一阻流机构、第二阻流机构，所述第一阻流机构包括若干个第一弧形板，若干个所述第一弧形板环绕罩体中轴线设置，且所述第一弧形板的凹面朝向远离罩体一侧设置；所述第二阻流机构包括若干个第二弧形板，若干个所述第二弧形板环绕罩体中轴线设置，且所述第二弧形板的凹面朝向罩体一侧设置。通过设置由罩体、搅拌混合机构、第一阻流机构、第二阻流机构组成的快速混合结构，可以在多组分气体输入后，快速多重地对气体进行混合，从而实现了

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220345493U

(45)授权公告日2024.01.16

(21)申请号202321794648.1

(22)申请日2023.07.10

(73)专利权人合肥先微半导体材料有限公司

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