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一种基于支撑与检测解耦的压阻式微振动传感器.pdfVIP

一种基于支撑与检测解耦的压阻式微振动传感器.pdf

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    本发明公开了一种基于支撑与检测解耦的压阻式微振动传感器，属于微机械系统技术领域，包括：固定边框、敏感质量、大刚度支撑梁、柔性检测梁、固支锚点、连接梁。固定边框与固支锚点用于提供支撑；敏感质量的上下边界通过大刚度支撑梁与固定边框连接；大柔度检测梁左右两侧分别固支于固定边框和固支锚点，并通过连接梁与敏感质量连接。传感器结构呈中心对称，并分别在左右两个柔性测梁上通过掺杂工艺布置多个压阻区域构成惠斯通全桥，通过检测压阻片阻值变化推导出所受振动载荷大小。本发明利用大刚度支撑梁提高结构固有频率，提高了检测带

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117405214A

    (43)申请公布日2024.01.16

    (21)申请号202311280072.1

    (22)申请日2023.09.28

    (71)申请人大连理工大学

    地址116024

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