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本申请涉及精密光学测量领域，特别涉及一种基于白光显微干涉的高信噪比三维重建方法及装置。本申请通过获取若干相移差相同的连续干涉图像，通过多次差分处理和移动平方求和重构原始信号，并采用二次多项式拟合获取零光程差估计位置，再结合高度转化公式得到被测物品的粗略形貌。由于本申请中零光程差位置信息由尽可能相邻的多幅图像信息获取，能够排除环境光和机器噪声对干涉信号的影响，因此能够准确定位零光程差位置。解决了现有技术中因环境影响造成的零光程差位置定位错误的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117409138A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311338701.1
(22)申请日2023.10.16
(71)申请人湖北工业大学
地址430068
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