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本发明公开了CVD腔室清洁技术领域内的一种远程等离子源拓扑结构及其控制方法。该结构包括：控制单元、PWM驱动单元、整流滤波输入单元、谐振变换器、点火电路和采样单元，点火电路产生高压点火信号，使等离子体负载高频震荡电离，谐振变换器用以提供输入交流源；控制单元通过PWM驱动单元控制谐振变换器的输出电流。该远程等离子源拓扑结构无需匹配器，具有体积小、成本低的特点。同时，该远程等离子源具备两种控制模式：恒流模式和恒功率模式；恒流模式响应速度快，适合各种性质负载；恒功率模式下，在运行功率未达到阈值时，系统
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117410165A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311341984.5
(22)申请日2023.10.16
(71)申请人江苏神州半导体科技有限公司
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