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本实用新型提供了一种带实时监控硅片烧结温度的传感装置的辊道炉，包括：设置多个控温区的烘干区和烧结区及风冷区，硅片经由传动装置依次通过烘干区、烧结区及风冷区，每个控温区均包括上控温区和下控温区，每个上控温区和下控温区内对应地设置有至少三个电偶实时温度传感器，电偶实时温度传感器与硅片表面之间的距离不大于10mm。有益效果是本实用新型通过设置电偶实时温度传感器，可以有效监控烧结炉内不同区域近硅片表面的温度，实现对硅片烧结温度的实时在线监控，有助于监控烧结过程，及时发现问题，根据实验结果调整烧结方法。将
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220356058U
(45)授权公告日2024.01.16
(21)申请号202321733413.1
(22)申请日2023.07.04
(73)专利权人中科研和（宁波）科技有限公司
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