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- 2024-01-17 发布于四川
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本实用新型提供一种涂胶显影设备，该设备包括片盒模块、层间工艺模块、层内工艺模块和穿墙单元组；片盒模块和层内工艺模块分别设于层间工艺模块的两侧；片盒模块用于装载和传输晶圆传送盒，晶圆传送盒用于装载晶圆；层间工艺模块内设有层间机械手组，层间机械手组用于在层间工艺模块内传输晶圆；层内工艺模块内设有L层工艺层；每层工艺层均包括层内机械手和层内工艺组，层内机械手用于在工艺层内传输晶圆；层内工艺组包括液处理单元组和两个热处理单元组；液处理单元组包括若干液处理单元，用于对晶圆进行液处理；每个热处理单元组均包括
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220357428U
(45)授权公告日2024.01.16
(21)申请号202321465305.0
(22)申请日2023.06.09
(73)专利权人上海芯源微企业发展有限公司
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