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复制微结构图案的方法.pdfVIP

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  • 2024-01-17 发布于四川
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复制微结构图案的方法.pdf

    一种复制微结构图案的方法包括提供包括基底、薄膜和正性光致抗蚀剂的多层结构；提供具有微结构图案的模具；在压力和温度下将模具应用于多层结构；其中模具的微结构图案被复制到多层结构的正性光致抗蚀剂上。还公开了一种包括基底和具有微结构图案的薄膜的制品。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117413222A

    (43)申请公布日2024.01.16

    (21)申请号202280039384.0(74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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