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工艺技术人员初级考试题附答案
1.管P所使用的气体有氮气、硅烷、（）三种。
()(答案：氨气)
2.石墨舟更换一次卡点的周期为（）个月。
请用阿拉伯数字作答
(答案：3)
3.背钝化在表面渡一层（）形成表面钝化。
()(答案：氧化铝)
4.理想ALD维护前需检查内面板（）有无堵塞。
()(答案：气孔)
5.背面管P膜厚控制范围在125±15nm，测试频率（）周一次.
请用阿拉伯数字作答
()(答案：1)
6.PE的目的是在表面形成一层（），可以达到减少光的。
氮化硅
()(答案：反射)
7.RauthRau机器的腔体有进料腔
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