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2014/5/25

，、直拉单晶硅的相关知识

二、直拉单晶硅的制备工艺

（一） 工艺概述

（二） 各项工艺步骤的特点

三、直拉单晶硅的发展前景

，直拉单晶硅的相关知识

硅单品是一种半导体材料。直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单品的一门科学，它研究的主要内容：硅单品生长的一般原理，宜拉硅单品生长工艺过程，改善直拉硅单品性能的工艺方法。

直拉单晶硅工艺学象其他科学一样，随着社会的需要和生产的发展逐渐发展起来。十九世纪，人们发现某些矿物，如硫化锌、氧化铜具有单向导电性能，并用它做成整流器件，显示出独特的优点，使半导体材料得到初步应用。后来，人们经过深入研究，制造出多种半导体材料。1918年，切克劳斯基(JCzochralski)发表了用直拉法从熔体中生长单品的论文，为用直拉法生长半导体材料奠定了理论基础，从此，直拉法飞速发展，成为从熔体中获得单品一种常用的重要方法。目前一些重要的半导体材料，如硅单品，锗单品，红宝石等大部分是用直拉法生长的。宜拉锗单品首先登上大规模工业生产的舞台，它工艺简单，生产效率高，成本低，发展迅速;但是，锗单品有不可克服的缺点：热稳定性差，电学性能较低，原料来源少，应用和生产都受到一定限制。六十年代，人们发展了半导体材料硅单品，它一登上半导体材料舞台，就显示了独特优点：硬度大