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本发明涉及一种晶圆退火装置，包括：壳体，包括容纳腔和与容纳腔连通的炉口、通口，所述炉口用于供待加工产品进出容纳腔，所述通口用于供外界设备与容纳腔内连通；炉门，用于封闭/开启炉口；以及电热丝，分布于容纳腔内，所述电热丝靠近炉口和通口处的分布密度大于容纳腔内其他区域处的分布密度；通过在炉口与通口处设置相较密集的电热丝，能够有效补偿炉口和通口处的热量散失，进而让壳体内的温度能够保持在更为稳定的状态，从而降低晶圆废品率，通过设置上热丝和下热丝进行分开加热，可以上下温度独立控制，从而提高炉体内的温度的均匀
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117419572A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311674391.0
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人湖南艾科威半导体
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