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本实用新型公开了一种靶材除尘装置,包括机架,所述机架上方依次设有吸尘机构和静电除尘机构,所述机架中间还设有传送带,所述传送带位于吸尘机构和静电除尘机构的下方,本实用新型不仅可以用于圆形的靶材除尘,还可以用于矩形的靶材除尘,只需要将多个靶材放置到传送带上,利用传送带来带动靶材依次进入吸尘机构和静电除尘机构,完成靶材一面的除尘,然后工人对靶材翻面,在再传送带的带动下进入下一组吸尘机构和静电除尘机构,从而完成对靶材的另一面的除尘;综上所述,本实用新型功能多样,可用于不同形状的靶材除尘,同时利用传送带不
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220361731U
(45)授权公告日2024.01.19
(21)申请号202321570716.6
(22)申请日2023.06.20
(73)专利权人江苏海泰新材料科技有限公司
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