《GBTXXXXX静电控制参数实时监控系统通用规范（2024报批稿）》.pdfVIP

ICS17.220.20

CCSL04

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXXX—XXXX

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静电控制参数实时监控系统通用规范

Generalspecificationforreal-timemonitoringsystemofelectrostaticcontrol

parameter

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/TXXXX-XXXX

静电控制参数实时监控系统通用规范

1范围

本文件界定了静电控制参数实时监控系统（以下简称：监控系统）的架构和静电控制参数类型，规

定了监控系统的功能要求和性能要求，描述了对应的测试方法。

本