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本发明公开了一种对紫外可见光截止的宽光谱红外透射滤光窗口,该窗口基底为硒化锌晶体,基底一面上设计宽带截止膜,其主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构,以硒化锌和氟化镱分别作为高、低折射率材料。使用两个截止膜堆实现宽带截止,主膜系两端添加匹配层,通过优化匹配层提升红外波段透射率;基底另一面设计了宽光谱减反膜。滤光窗口的光学薄膜制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等工艺。该窗口能阻止0.20μm~0.80μm宽波段内的光通过,允许0.92μm~15.50μm宽波段的光通过,经过后续光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117420628A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202210811407.7
(22)申请日2022.07.11
(71)申请人中国科学院上海技术物理研究所
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