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本实用新型提出一种研磨液供给桶槽底部回流装置，包括用于存储研磨液的储液桶槽，储液桶槽的底部设有回流组件，回流组件的底部设有三通接头，回流组件的顶部设有延伸至储液桶槽内的喷流组件，喷流组件的底部穿过回流组件并连接在三通接头的顶部，喷流组件内为中空的，喷流组件连通储液桶槽和三通接头，回流组件的侧面设有回流口，回流口与储液桶槽连通。该装置能够回流药液，促进药液在储液桶槽内保持流动。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220362420U
(45)授权公告日2024.01.19
(21)申请号202322073491.X
(22)申请日2023.08.03
(73)专利权人南京华易泰电子科技有限公司
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